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一种刻蚀用臭氧发生器

基本信息

申请号 CN201621416481.5 申请日 -
公开（公告）号 CN206328148U 公开（公告）日 2017-07-14
申请公布号 CN206328148U 申请公布日 2017-07-14
分类号 C01B13/10;H01L31/18 分类 无机化学;
发明人 杨洪军;鞠靖;张振兴;万福旺 申请（专利权）人 山东天信光伏新能源有限公司
代理机构 东营双桥专利代理有限责任公司 代理人 罗文远
地址 257000 山东省东营市经济技术开发区淮河路79号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种刻蚀用臭氧发生器。其技术方案是：包括第一臭氧发生装置和第二臭氧发生装置，在第一高压陶瓷管上缠绕有第一高压线圈，在第一高压陶瓷管的右端连接第一变压器，在第二高压陶瓷管上缠绕有第二高压线圈，在第二高压陶瓷管的右端连接第二变压器，所述的第一臭氧发生装置和第二臭氧发生装置通过PLC控制器控制。本实用新型的有益效果是：降低了费用，节省了设备成本，且设有两个臭氧发生装置，第一臭氧发生装置和第二臭氧发生装置通过PLC控制器控制交替工作，避免高压陶瓷管烧坏，一台臭氧发生装置工作时，另一台臭氧发生装置通过氧气稀释，降低温度，达到稳定长时间工作的目的。