一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法

基本信息

申请号 CN201910320504.4 申请日 -
公开(公告)号 CN110158100B 公开(公告)日 2019-08-23
申请公布号 CN110158100B 申请公布日 2019-08-23
分类号 C23G1/10(2006.01)I;C23G1/06(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 王晓刚;陆聪;郑彬 申请(专利权)人 无锡天杨电子有限公司
代理机构 苏州国卓知识产权代理有限公司 代理人 无锡天杨电子有限公司
地址 214154江苏省无锡市惠山区经济开发区洛社配套区东一路51号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种清洗氮化硅陶瓷覆铜板黑边的方法,包括以下步骤;步骤一:将切割好的氮化硅陶瓷覆铜板放入10℃‑50℃纯水中超声水洗1‑2min;步骤二、将清洗干净的氮化硅陶瓷覆铜板放入含有一定铜缓蚀剂的溶液中;步骤三、将10%‑40%浓度的双氧水缓慢均匀的滴入含有铜缓蚀剂的溶液中,取出氮化硅陶瓷覆铜板;步骤四、将氮化硅陶瓷覆铜板用纯水冲洗后,放入5%‑10%浓度的稀盐酸溶液中,去除表面轻微的氧化层,再一次用纯水冲洗干净;步骤五、将黑边预氧化过后的氮化硅陶瓷覆铜板放入氢氟酸的溶液中,超声浸泡30‑40min,彻底洗去黑边。本发明通过预氧化,再清洗的方法,能够在不伤害氮化硅表面铜皮的情况下,洗去相应的黑膜,可以彻底去除黑边。