通过组合一组预定义的分离掩模创建不同设计的方法
基本信息
| 申请号 | CN201980069378.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113168104A | 公开（公告）日 | 2021-07-23 |
| 申请公布号 | CN113168104A | 申请公布日 | 2021-07-23 |
| 分类号 | G03F7/20;H01L27/02 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 苏海尔·加拉希 | 申请（专利权）人 | 深圳市奇普乐芯片技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 范海云 |
| 地址 | 广东省深圳市南山区科苑路高新南九道53号北京航空航天大厦2号楼718单元 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明描述用于通过利用多个分离制造掩模的组来实现创建多个类似设计的方法。可基于第一光刻曝光从半导体衬底的裸片区域的第一部分中的材料层形成第一组装置特征。可基于所述第一光刻曝光之后的第二光刻曝光而从所述半导体衬底的所述裸片区域的第二部分中的所述材料层形成第二组装置特征。所述裸片区域的所述第一部分与所述裸片区域的所述第二部分可不重叠。 |
