一种机械手手指冷却装置
基本信息
| 申请号 | CN202122198154.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215896328U | 公开（公告）日 | 2022-02-22 |
| 申请公布号 | CN215896328U | 申请公布日 | 2022-02-22 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 郭颂;张霄;朱小庆;刘海洋;陈兆超;程实然;胡冬冬;许开东 | 申请（专利权）人 | 北京鲁汶半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 纪德虎 |
| 地址 | 100176北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号4幢2层203 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型的一种机械手手指冷却装置，包括用于放置机械手的腔体，所述机械手的手指处安装有通水槽，所述通水槽上连接有进水管和出水管，所述进水管和出水管从腔体中穿出；所述腔体位于机械手手指的一侧设置有用于和工艺腔连接的接口，接口处设置有密封件和门阀。本实用新型冷却效率高，冷却液的温度一般维持较低，冷却过后的晶圆比较稳定，大大降低有害气体的释放，减少对操作者的伤害。 |
