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一种等离子刻蚀机的介质窗匀温装置

基本信息

申请号	CN202122064579.6	申请日	-
公开（公告）号	CN215896306U	公开（公告）日	2022-02-22
申请公布号	CN215896306U	申请公布日	2022-02-22
分类号	H01J37/32（2006.01）I;H01L21/3065（2006.01）I;H05K7/20（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	刘海洋;郭颂;刘小波;张瑶瑶;王铖熠;张霄;胡冬冬;许开东	申请（专利权）人	北京鲁汶半导体科技有限公司
代理机构	南京经纬专利商标代理有限公司	代理人	彭英
地址	100176北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号4幢2层203
法律状态	-

摘要

本实用新型属于刻蚀工艺技术领域，具体涉及一种等离子刻蚀机的介质窗匀温装置，本装置包括散热风扇和散热风扇屏蔽罩，散热风扇安装在散热风扇屏蔽罩内，每个散热风扇的出风面均朝向加热器中心区域；每个散热风扇屏蔽罩的朝向屏蔽罩顶面中心点的一端与屏蔽罩铰接；散热风扇屏蔽罩底面所在平面与介质窗所在平面相交；散热风扇屏蔽罩底面与介质窗中垂线之间夹角为A，A＜90°。还包括安装孔、安装板、调节螺钉、调节螺母，安装板设于散热风扇屏蔽罩上；调节螺钉的远离螺帽的一端向下依次穿过安装孔、安装板；调节螺母安装在调节螺钉的远离螺帽的一端，调节螺母配合在安装板的背离螺帽的一侧。本实用新型控制陶瓷介质窗中心和边缘区域温度的均一性。