一种晶圆扫描喷嘴清洗槽
基本信息
| 申请号 | CN202021130986.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213162175U | 公开（公告）日 | 2021-05-11 |
| 申请公布号 | CN213162175U | 申请公布日 | 2021-05-11 |
| 分类号 | B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 邹志文;华强;侯永刚;黄奔;孟庆国;刘杰;崔虎山;许开东 | 申请（专利权）人 | 北京鲁汶半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王美章 |
| 地址 | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆扫描喷嘴清洗槽，包括：槽体、设置在槽体外壁上的进液接头、设置在槽体底部的排液接头，还包括：隔膜泵，通过下排管路与所述排液接头连接。本实用新型一种晶圆扫描喷嘴清洗槽，在纯水槽溢流和下排增加一个隔膜泵保证管路处于一个弱真空的状态，从而有利于UPW的快速溢流和直排作业。 |
