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一种等离子刻蚀机及其使用方法

基本信息

申请号 CN202010354739.8 申请日 -
公开（公告）号 CN113571399A 公开（公告）日 2021-10-29
申请公布号 CN113571399A 申请公布日 2021-10-29
分类号 H01J37/305（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I;H05B1/02（2006.01）I;H05B3/02（2006.01）I;H05B3/10（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 郭颂;刘海洋;王铖熠;李娜;刘小波;张军;胡冬冬;许开东 申请（专利权）人 北京鲁汶半导体科技有限公司
代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 代理人 王美章
地址 100176北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出了一种等离子刻蚀机及其使用方法，该等离子刻蚀机包括一刻蚀腔体和一加热板；刻蚀腔体的敞开端固定一陶瓷介质窗；陶瓷介质窗的上方固定一产生等离子体的等离子体耦合线圈；加热板固定在一屏蔽罩内；屏蔽罩的下端敞开；屏蔽罩位于刻蚀腔体的上方且固定在刻蚀腔体上；加热板固定在陶瓷介质窗朝向等离子体耦合线圈的表面；加热板上开设用于供等离子体穿过的预留间隙；加热板通过一供电电路连接一加热电源。本发明将加热板直接贴合在陶瓷介质窗上，通过对加热板通电以对陶瓷介质窗直接进行加热。因此加热板的加热效率高，热量散失少，避免屏蔽罩的过热现象，无需在屏蔽罩外增设保护罩。