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真空腔室及其多转轴重载真空腔室铰链

基本信息

申请号 CN202020953038.1 申请日 -
公开（公告）号 CN213573509U 公开（公告）日 2021-06-29
申请公布号 CN213573509U 申请公布日 2021-06-29
分类号 E05D3/18（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I 分类 锁；钥匙；门窗零件；保险箱;
发明人 程实然;郭颂;刘海洋;王铖熠;李娜;张军;胡冬冬;许开东 申请（专利权）人 北京鲁汶半导体科技有限公司
代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 代理人 彭英
地址 100176北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种真空腔室及其多转轴重载真空腔室铰链装置。铰链装置包括铰链关节以及铰链转轴；所述的铰链关节包括两个固定铰链关节以及设置在两个固定铰链关节之间的一个以上的活动铰链关节；各铰链关节中，相邻两个铰链关节的铰接端，均枢接在同一根铰链转轴上；各铰链关节的铰接端所枢接的铰链转轴之间相互平行设置；活动铰链关节呈弧形设置，且活动铰链关节的弧面均外凸于所述的活动铰链关节两端所枢接的铰链转轴的中心连线。因此，本实用新型开合时，腔室门既可以沿某一转轴伸缩，也可以沿某一转轴旋转，可实现腔室门拉伸开合与旋转开合，从而减小负载旋出空间，使设备整体结构紧凑，节省设备空间。