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用于模封体检查的定位装置及检查系统

基本信息

申请号 CN202123218436.2 申请日 -
公开（公告）号 CN216526512U 公开（公告）日 2022-05-13
申请公布号 CN216526512U 申请公布日 2022-05-13
分类号 G02B21/34（2006.01）I 分类 光学;
发明人 杨浩;胡志田;马德英 申请（专利权）人 深圳赛意法微电子有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 -
地址 518038广东省深圳市福田区福保街道福田保税区桃花路16号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于模封体检查的定位装置及检查系统。其中，用于模封体检查的定位装置包括基座、第一支撑座、第二支撑座和工件定位座。第一支撑座的一端枢接于基座，第二支撑座连接于第一支撑座的顶部，能够相对于第一支撑座沿第一方向移动，工件定位座连接于第二支撑座的顶部，能够相对于第二支撑座沿第二方向移动，工件定位座具有定位部，定位部适于定位模封后体，当模封后体定位于定位部时，模封后体中的模封体敞开在定位部的顶部。本实施例的用于模封体检查的定位装置可以代替人工对模封后体进行定位，以配合显微镜对模封后体上的多个模封体的侧面进行目视检查。