一种声波谐振器件及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202110512179.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113271081A | 公开（公告）日 | 2021-08-17 |
| 申请公布号 | CN113271081A | 申请公布日 | 2021-08-17 |
| 分类号 | H03H9/17（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 陈洁 | 申请（专利权）人 | 苏州福唐智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 叶宇 |
| 地址 | 215123江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区2幢506 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种声波谐振器件及其制造方法。该声波谐振器件利用可激光活化物层进行激光活化形成由激光活化金属层构成的高声波阻抗层，其可以精确控制高声波阻抗层的尺寸和位置，无需刻蚀，可以降低寄生电容且高声波阻抗层的粘附性好，不易剥离；进一步的，高声波阻抗层的侧壁通过激光斜向的照射而形成具有一定倾斜角的光滑曲面，以此保证第二低声波阻抗层的沉积质量，且能够降低高声波阻抗层边缘位置的寄生电容。 |
