一种谐振器及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202110512192.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113114148A | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN113114148A | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | H03H3/007（2006.01）I;H03H9/24（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 陈洁 | 申请（专利权）人 | 苏州福唐智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 叶宇 |
| 地址 | 215123江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区2幢506 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种谐振器及其制造方法。该谐振器利用凹槽来形成布拉格反射镜，可以实现高声波阻抗层在不通过蚀刻的方式实现对应于压电部件功能区，以此，防止压电部件的第一电极或第二电极与金属材质的高声波阻抗层产生寄生电容；特别的，本发明的凹槽具有倾斜的侧壁且还可以具有台阶部，这样形成谐振开口可以防止支撑层断裂，保证器件的可靠性，同时能够抵抗来自平坦层应力。 |
