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一种真空状态可调的碳管炉

基本信息

申请号 CN201620319531.1 申请日 -
公开（公告）号 CN205561541U 公开（公告）日 2016-09-07
申请公布号 CN205561541U 申请公布日 2016-09-07
分类号 F27B17/00(2006.01)I;F27D19/00(2006.01)I 分类 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕;
发明人 董家海;曹新华;周孟忠 申请（专利权）人 常熟东星电子材料有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215500 江苏省苏州市常熟经济技术开发区科创园1号楼305
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉一种真空状态可调的碳管炉，包括炉体，炉体内设有挂架，炉体为圆柱形炉体，炉体的上端设有顶板，炉体的下端设有底板，顶板、底板和炉体组成密闭舱体；炉体内设有内衬板，内衬板内侧设有加热管；底板上设有舱门；底板上侧的炉体内设有真空压力传感器；顶板的上端设有真空泵，炉体的侧面设有若干个抽气口，抽气口通过真空管与真空泵连通；每个抽气口上设有一个电控真空阀；炉体侧壁上设有一个调压口，调压口上设有一个电控真空阀。本实用新型能够在气相沉积作业中便捷调控真空度，确保作业过程中真空度的稳定，提高沉积作业的质量和产品质量，确保最佳的气相沉积效果。