一种热解氮化硼用的沉积炉
基本信息
| 申请号 | CN201620348636.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205556773U | 公开（公告）日 | 2016-09-07 |
| 申请公布号 | CN205556773U | 申请公布日 | 2016-09-07 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;C01B21/064(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 董家海;曹新华;周孟忠 | 申请（专利权）人 | 常熟东星电子材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215500 江苏省苏州市常熟经济技术开发区科创园1号楼305 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉一种热解氮化硼用的沉积炉，包括圆柱体形炉体，炉体的上端和下端分别设有顶盖和底板，炉体为密封结构，炉体的内侧设有加热结构，炉体中部放置有加工部件；炉体的侧壁上设有若干个进气管，炉体外侧的每个进气管上设有加热器；加热器与炉体之间的进气管上设有气流温度感应器；炉体的内壁和底板上侧分别设置有炉体温度感应器；炉体外侧设有电控箱。本实用新型能够通过加热器对进气管中的气流进行加热，确保输入的气流与炉体内的温度一致，从而使沉积作业均匀稳定，提高沉积作业的质量和产品质量；同时，能够高效监测和调控炉体内的温度，确保最佳的作业效率和作业质量。 |
