一种气相沉积炉
基本信息
| 申请号 | CN201020617180.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201890928U | 公开（公告）日 | 2011-07-06 |
| 申请公布号 | CN201890928U | 申请公布日 | 2011-07-06 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵凤鸣;赵林 | 申请（专利权）人 | 常熟东星电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 | 代理人 | 张晨 |
| 地址 | 110000 辽宁省沈阳市沈河区五爱街15-28楼1-13-1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型的目的在于提供一种气相沉积炉，该气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口以及模具，进气口在炉体底部或顶部，其特征在于：在炉体内或炉体外设有旋转机构，所述旋转机构由1~36个齿轮、转盘、齿套、伞齿轮组、连接轴以及电机组成，电机通过伞齿轮组与转盘相连，齿轮通过连接轴固定在转盘上，齿套在所有齿轮外围固定，并与齿轮啮合，转盘转动带动齿轮沿着圆盘式齿套旋转，每个齿轮上都吊挂或直立一个模具，模具随着齿轮的自转公转实现了产品在炉内的公转与自转。采用该气相沉积炉制备热解氮化硼制品，能够提高PBN产品质量及其生产效率，降低生产成本。 |
