生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块
基本信息
| 申请号 | CN201520020440.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN204509458U | 公开（公告）日 | 2015-07-29 |
| 申请公布号 | CN204509458U | 申请公布日 | 2015-07-29 |
| 分类号 | C23C16/34(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵林;赵凤鸣 | 申请（专利权）人 | 常熟东星电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 常熟东星电子材料有限公司;安徽芯一信息材料有限公司 |
| 地址 | 215513 江苏省苏州市常熟经济开发区马桥工业坊22栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块，包括沉积炉的炉体，炉体顶壁的吊盘上设有排气口，还包括顶壁下方的阶梯型上行外齿套，顶壁中央设有竖向的旋转轴，旋转轴下部圆周外侧套接于阶梯型上行外齿套的竖向中轴线上，旋转轴下端的圆周外侧通过锁紧螺母与阶梯型上行外齿套的下端固定连接；旋转轴圆周外侧的阶梯型上行外齿套上设有若干个竖向呈环形并列设置的一级旋转杆、二级旋转杆和三级旋转杆。本实用新型能够实现模具的自转和公转同时旋转，能够使氮化硼制品的气相沉积作业更加高效和均匀，提高生产效率，确保产品质量；并且旋转的能耗低、结构简单，工作成本和后期维护成本低，工作稳定高效。 |
