热解氮化硼板材的制备方法及该方法所用的气相沉积炉专利查询专利号|摘要-满商公司网

热解氮化硼板材的制备方法及该方法所用的气相沉积炉

基本信息

申请号	CN201110323008.8	申请日	-
公开（公告）号	CN102330068B	公开（公告）日	2012-10-10
申请公布号	CN102330068B	申请公布日	2012-10-10
分类号	C23C16/34(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	赵林;赵凤鸣	申请（专利权）人	常熟东星电子材料有限公司
代理机构	常熟市常新专利商标事务所	代理人	苏州明林光电科技有限公司;安徽芯一信息材料有限公司
地址	215513 江苏省苏州市常熟市常熟经济开发区沿江工业区马桥路6号马桥工业坊22栋
法律状态	-

摘要

一种热解氮化硼板材的制备方法及该方法所用的气相沉积炉，属于特种陶瓷材料制备技术领域。该方法采用具有进气机构并且在炉内设置有旋转的模具的气相沉积炉，原料气体为N2、NH3和BCl3的混合气体，其中：N2、NH3和BCl3气体的mol比为30-10∶10-1∶8-0.5，气相沉积炉的炉温为1700～2000℃，保温时间为14-26h，所述的旋转模具在所述的气相沉积炉内呈倾斜设置。优点：由于将旋转的模具在气沉积炉内呈斜设置，从而能使原料气体沿倾斜角度向上偏流，在流动过程中将沟槽填平，使得到的热解氮化硼板材表面平整，有利于显著减小残余应力和提高合格率；提供的沉积炉结构简单，能保障热解氮化硼板材的所述技术效果的全面体现。