硅棒研磨机
基本信息
| 申请号 | CN202010995008.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114131480A | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN114131480A | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | B24B27/00（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I;B24B41/02（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 卢建伟;李鑫;钱春军;曹奇峰;张峰 | 申请（专利权）人 | 天通日进精密技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海巅石知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张明;王再朝 |
| 地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁经济开发区双联路129号6号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开一种硅棒研磨机，包括机座、硅棒转运装置、粗磨装置、以及精磨装置，其中，所述机座具有硅棒加工平台，所述硅棒加工平台上设有第一加工区位和第二加工区位，硅棒转运装置包括转运主体及多个硅棒夹具和换位机构，利用换位机构驱动多个硅棒夹具及其所夹持的硅棒在第一加工区位和第二加工区位上转换位置以令粗磨装置能对硅棒进行粗磨作业及精磨装置能对硅棒进行精磨作业，使得在同一时刻所述硅棒研磨机中的粗磨装置和精磨装置均处于工作状态，可提升硅棒研磨效率及缩减研磨作业耗时，且可提升经济效益。 |
