游星轮组合件
基本信息
| 申请号 | CN201721763270.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208895850U | 公开（公告）日 | 2019-05-24 |
| 申请公布号 | CN208895850U | 申请公布日 | 2019-05-24 |
| 分类号 | B24B37/28（2012.01）I; B24B37/08（2012.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 冯光建; 夏秋良 | 申请（专利权）人 | 新美光（苏州）半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 苏州新美光纳米科技有限公司 |
| 地址 | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城NW-20#107、108、109、110 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供游星轮组合件，涉及半导体技术领域。涉及游星轮组合件，包括游星轮本体和治具，所述游星轮本体内设置有用于放置治具的第一开孔，所述治具与所述第一开孔的内壁固定；所述治具的外径轮廓与所述第一开孔的内径轮廓相适应，所述治具镶嵌在所述第一开孔的内壁上。采用本技术方案，能够实现游星轮在抛光机里面的长时间转动，使待抛光件可以镶嵌到治具中，而治具可以镶嵌到游星轮本体中，这样在后续抛光时，只需要更换不同的治具，而只需要一副游星轮就能够实现同样的抛光。 |
