一种压力控制方法、系统、终端及存储介质
基本信息
| 申请号 | CN202111679836.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114415749A | 公开（公告）日 | 2022-04-29 |
| 申请公布号 | CN114415749A | 申请公布日 | 2022-04-29 |
| 分类号 | G05D16/20（2006.01）I;G05B13/02（2006.01）I | 分类 | 控制；调节; |
| 发明人 | 罗新铭;阙石男 | 申请（专利权）人 | 苏州艾方芯动自动化设备有限公司 |
| 代理机构 | 北京维正专利代理有限公司 | 代理人 | 何爽 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市相城区渭塘镇澄阳路3366号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及半导体加工设备技术领域，尤其是涉及一种压力控制方法、系统、终端及存储介质，旨在解决现有技术通过改变电磁阀的数量来实现压力的变化，容易在反复的电磁阀装卸操作中造成人力的浪费，同时容易导致产品的测试效率低的问题的问题，其技术方案是一种压力控制算法，包括：获取针对当前批次的待测产品预执行的压力测试流程；获取待测产品当前的第一测试压力，基于所述第一测试压力获取由第一测试压力跃升至下一梯级的第二测试压力所需的第一压力差；将所述第一测试压力与第一压力差组合为输入参数，并输入预设的模糊控制器中，获取所述模糊控制器输出的控制参数，本申请具有提高对产品进行压力测试的过程中压力控制的效率的效果。 |
