一种二自由度操控平台
基本信息
申请号 | CN201720467058.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN206990633U | 公开(公告)日 | 2018-02-09 |
申请公布号 | CN206990633U | 申请公布日 | 2018-02-09 |
分类号 | G01R1/04;G01R31/28 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 赵坤岭;毛国梁 | 申请(专利权)人 | 上海宏测半导体科技有限公司 |
代理机构 | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 上海宏测半导体科技有限公司;南京宏泰半导体科技有限公司 |
地址 | 200001 上海市黄浦区北京东路666号B区604室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及集成电路测试领域,公开了一种二自由度操控平台。该二自由度操控平台,包括升降机构以及翻转机构,升降机构包括升降支架、滑块、升降锁定装置以及驱动装置,滑块安装在升降支架上,翻转机构设置在滑块上;升降锁定装置在滑块滑动到预定高度时将滑块以及翻转机构固定在预定高度;驱动装置包括设置在升降支架上的丝杆固定座、固定在丝杆固定座上的丝杆、可升降地设置在丝杆上的气压杆固定板、以及一端与气压杆固定板相连而另一端与滑块相连的气压杆,丝杆通过自身转动驱动气压杆固定板及气压杆上升、下降,气压杆伸长或缩短运动以驱动位于气压杆另一端的滑块向上、向下滑动。该二自由度操控平台操控便捷,操作效率高。 |
