一种对位装置及对位平台

基本信息

申请号 CN201810994901.5 申请日 -
公开(公告)号 CN108766925A 公开(公告)日 2018-11-06
申请公布号 CN108766925A 申请公布日 2018-11-06
分类号 H01L21/68 分类 基本电气元件;
发明人 朱未来 申请(专利权)人 深圳市金海来自动化机械有限公司
代理机构 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 逯恒
地址 523000 广东省东莞市大朗镇求富路社区聚新二路52号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种对位装置及对位平台,涉及精密对位设备技术领域,该对位装置包括:位移台、电机座、底板、固定顶板、固定底板、固定立板、第一连接板、第二连接板、第三连接板、第一安装座、第二安装座、第三安装座、第一电机、第二电机、第三电机、第一导轨、第二导轨、第三导轨、第一丝杆、第二丝杆和第三丝杆;使用所述对位装置可准确控制各个方向的精确位置,XY轴电机安装在同一层零件上,结构紧凑,节约空间,并且使用伺服电机驱动,每个伺服电机独立控制,简化了算法和程序,在保证了驱动力和精度的情况下,使整个装置的体积减小,效率提高。