可视化的真空阴极磁过滤装置
基本信息
| 申请号 | CN202210184605.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114457310A | 公开（公告）日 | 2022-05-10 |
| 申请公布号 | CN114457310A | 申请公布日 | 2022-05-10 |
| 分类号 | C23C14/32（2006.01）I;C23C14/52（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 曹时义;周敏;王俊锋 | 申请（专利权）人 | 广东鼎泰高科技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 523071广东省东莞市厚街镇赤岭工业一环路12号之一2号楼102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明一种可视化的真空阴极磁过滤装置，包括管道，所述管道上开设至少一个第一镶嵌口，所述第一镶嵌口上嵌设有透明板，所述透明板沿管道长度方向延伸，所述透明板与第一镶嵌口相对密封固定，所述透明板呈双层透明结构，所述透明板包括内层透明板和外层透明板，所述内层透明板与所述外层透明板之间的空间形成第一冷却水通道，所述外层透明玻璃板上设有进水口和出水口，所述进水口和出水口与所述第一冷却水通道连通。该设计通过在管道上设计透明板，可以更好地观察和测量实验参数对靶面弧斑运动、金属或气体离化率、等离子体密度、金属离化能量、涂层性能的定向定量分析，有利于改进和更新工艺设计。 |
