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一种等离子体清洗系统

基本信息

申请号 CN202111680984.9 申请日 -
公开（公告）号 CN114453345A 公开（公告）日 2022-05-10
申请公布号 CN114453345A 申请公布日 2022-05-10
分类号 B08B7/00（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 曹时义;周敏;王俊锋 申请（专利权）人 广东鼎泰高科技术股份有限公司
代理机构 广州三环专利商标代理有限公司 代理人 -
地址 523071广东省东莞市厚街镇赤岭工业一环路12号之一2号楼102室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种等离子体清洗系统，用于清洗待处理产品，包括真空腔室、至少一组等离子体发生器、安装架和脉冲偏压电源，真空腔室具有进气口和出气口，等离子体发生器包括同轴且间隔设置的第一平板和第二平板，第一平板设有若干第一贯穿孔，第二平板设有若干第二贯穿孔，第一平板和第二平板之间具有间隙，第一平板和第二平板位于安装架；脉冲偏压电源的正极与真空腔室电连接形成阳极，脉冲偏压电源的负极与第一平板和第二平板电连接。本发明的等离子体清洗系统，在脉冲电压电场作用下，第一平板和第二平板之间的辉光区交叠，使的大量流动的气体被击穿电离，从而产生辉光等离子体，对待处理产品进行清洗，且清洗效果好。