等离子体传输装置
基本信息
| 申请号 | CN202210194844.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114574807A | 公开（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申请公布号 | CN114574807A | 申请公布日 | 2022-06-03 |
| 分类号 | C23C14/22;C23C14/48 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 曹时义;王俊锋 | 申请（专利权）人 | 广东鼎泰高科技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 刘光明 |
| 地址 | 523071 广东省东莞市厚街镇赤岭工业一环路12号之一2号楼102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种等离子体传输装置，包括传输管道和偏压供电装置，等离子体从传输管道的入口端进入传输管道并从传输管道的出口端输出，传输管道包括至少两个沿其周向间隔分布的电极板；偏压供电装置用于对各电极板进行偏压供电并切换各电极板的供电状态以使传输管道的等离子体在向外运动和向内运动之间来回改变，从而防止传输管道的等离子体中的负电粒子始终向外运动撞击挂壁使管壁呈负电而破坏管壁的导电性，进而提高传输管道的传输性能的稳定性。由于传输管道的等离子体在轴壁间来回运动使等离子体之间相互碰撞，提高等离子体的离化效率。此外，通过偏压供电装置对各电极板供电，结构简单，能够有效降低等离子体传输装置的成本。 |
