同时生产多尺寸多晶硅和多种类硅基气体的系统

基本信息

申请号 CN202023136053.6 申请日 -
公开(公告)号 CN214299303U 公开(公告)日 2021-09-28
申请公布号 CN214299303U 申请公布日 2021-09-28
分类号 C01B33/03(2006.01)I;C01B33/035(2006.01)I;C01B33/107(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 张宝顺;陈海宝;刘建华;刘廷泽;蔡延国;蔡向忠;宗冰;肖建忠;尹东林;郑连基;王体虎 申请(专利权)人 亚洲硅业(青海)股份有限公司
代理机构 成都华风专利事务所(普通合伙) 代理人 张巨箭
地址 810007青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了同时生产多尺寸多晶硅和多种类硅基气体的系统,包括多晶硅还原炉、流化床反应器、粉末多晶硅收集装置、第一换热器、第二换热器、第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔、第四精馏塔、第五精馏塔、第六精馏塔、第一分离塔、第一混合器、第二混合器及氯硅烷反应器。本实用新型可以仅利用一套系统同时生产出块状多晶硅、颗粒多晶硅和粉末多晶硅,以及四氯化硅等多种单体或聚合硅基气体,能够从最大程度上降低多晶硅和硅基气体的生产成本,将有效促进光伏能源产业和集成电路产业的快速、健康发展。