同时生产多尺寸多晶硅和多种类硅基气体的系统
基本信息
申请号 | CN202023136053.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214299303U | 公开(公告)日 | 2021-09-28 |
申请公布号 | CN214299303U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
分类号 | C01B33/03(2006.01)I;C01B33/035(2006.01)I;C01B33/107(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
发明人 | 张宝顺;陈海宝;刘建华;刘廷泽;蔡延国;蔡向忠;宗冰;肖建忠;尹东林;郑连基;王体虎 | 申请(专利权)人 | 亚洲硅业(青海)股份有限公司 |
代理机构 | 成都华风专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 张巨箭 |
地址 | 810007青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了同时生产多尺寸多晶硅和多种类硅基气体的系统,包括多晶硅还原炉、流化床反应器、粉末多晶硅收集装置、第一换热器、第二换热器、第一精馏塔、第二精馏塔、第三精馏塔、第四精馏塔、第五精馏塔、第六精馏塔、第一分离塔、第一混合器、第二混合器及氯硅烷反应器。本实用新型可以仅利用一套系统同时生产出块状多晶硅、颗粒多晶硅和粉末多晶硅,以及四氯化硅等多种单体或聚合硅基气体,能够从最大程度上降低多晶硅和硅基气体的生产成本,将有效促进光伏能源产业和集成电路产业的快速、健康发展。 |
