多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具
基本信息
| 申请号 | CN201610182836.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105734564B | 公开（公告）日 | 2018-06-26 |
| 申请公布号 | CN105734564B | 申请公布日 | 2018-06-26 |
| 分类号 | C23C26/00;H01L39/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王三胜 | 申请（专利权）人 | 北京鼎臣世纪超导科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京中企鸿阳知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘葛;郭鸿雁 |
| 地址 | 100094 北京市海淀区永丰产业基地永泽北路7号院 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于利用化学溶液法批量化生产大面积单面或双面超导薄膜技术领域，目的是提供一种使用方便、提高生产效率、降低生产成本的新型多片大面积单面或双面超导薄膜基片夹具，基片夹包括多个半圆形固定夹具和半圆形活动夹具，实现了一次烧制多片超导薄膜基片，提高了超导薄膜的生产效率，降低了生产成本，不损伤样品，同时保证了样品的批次一致性。使用时先用镊子夹持基片放入半圆形固定夹具的第一固定爪内，用镊子固定，然后将半圆形活动夹具与半圆形固定夹具扣合，使基片处于基片夹的四个固定爪内，将第一连接耳和第二连接耳固定在一起，即可将半圆形活动夹具与半圆形固定夹具组装在一起，无需进行多余的调整，安装非常方便，节约了安装时间。 |
