一种类金刚石镀膜方法
基本信息
| 申请号 | CN201810108215.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108330443A | 公开（公告）日 | 2018-07-27 |
| 申请公布号 | CN108330443A | 申请公布日 | 2018-07-27 |
| 分类号 | C23C14/06;C23C14/46 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王三胜 | 申请（专利权）人 | 北京鼎臣世纪超导科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京慕达星云知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 姜海荣 |
| 地址 | 100000 北京市海淀区永丰产业基地永泽北路7号院4号楼307室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种类金刚石镀膜方法，其镀膜步骤包括：提供一衬底，将其清洗后放入真空腔室内，将真空腔抽真空，然后通入氩气，打开辅源对衬底进行离子束清洗；然后以石墨为靶材，打开主源，对石墨靶材进行清洗；最后调整好主源和辅源的能量参数，打开挡板在衬底上镀一层类金刚石薄膜。通过本发明制造的类金刚石具有高附着力并且本发明操作简单便捷。 |
