一种离子束溅射辅助镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201711160242.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107988579B | 公开（公告）日 | 2019-12-03 |
| 申请公布号 | CN107988579B | 申请公布日 | 2019-12-03 |
| 分类号 | C23C14/34 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王三胜;刘静 | 申请（专利权）人 | 北京鼎臣世纪超导科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京慕达星云知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 李冉 |
| 地址 | 100095 北京市海淀区永丰产业基地永泽北路7号院4号楼307室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种离子束溅射辅助镀膜机，包括真空腔室、一个主离子源和中和装置；所述真空腔室的一侧设置所述主离子源；所述主离子源由阴极灯丝组成，所述阴极灯丝为φ0.2且缠绕成弹簧形状，直径为1.0mm，缠绕5‑10圈；所述中和装置安装在所述真空腔室与所述主离子源靠近的真空腔室内侧壁上；所述中和装置内设有中和灯丝。本发明实施例通过更改主离子源灯丝结构，添加了中和装置，提高了离子束溅射辅助镀膜机的工作时长，大大提高了工作效率，并且可镀的薄膜的厚度增加到十微米以上，并且保证了薄膜不会因为厚度的增加而产生应力使得薄膜剥落。 |
