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一种半导体制造用机械手臂

基本信息

申请号 CN201821201252.0 申请日 -
公开（公告）号 CN208629451U 公开（公告）日 2019-03-22
申请公布号 CN208629451U 申请公布日 2019-03-22
分类号 B25J11/00（2006.01）I; B25J15/08（2006.01）I 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 刘金章; 杨欣泽 申请（专利权）人 北京蜃景光电科技有限公司
代理机构 北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 黄彩荣
地址 100000 北京市海淀区中关村大街甲38号1号楼B座16层089号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种半导体制造用机械手臂，涉及半导体制造技术领域，该半导体制造用机械手臂，包括第一机械臂、第二机械臂、横置滑轨以及固定连接板，第一机械臂的底部和第二机械臂的底部均滑动设置在横置滑轨上，固定连接板的一端与第一机械臂的底端连接，固定连接板的另一端与第二机械臂的底端连接，以使第一机械臂和第二机械臂同步运动，第一机械臂的顶端设置有第一装夹机构，第二机械臂的顶端设置有第二装夹机构。相较于现有技术，本实用新型提供的一种半导体制造用机械手臂，在夹取晶圆的过程中能够使得晶圆受力均匀，避免夹取时损坏晶圆，提高了晶圆质量。