一种芯片表面检测装置
基本信息
| 申请号 | CN201921147772.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210442278U | 公开（公告）日 | 2020-05-01 |
| 申请公布号 | CN210442278U | 申请公布日 | 2020-05-01 |
| 分类号 | G01N21/88;G01N21/01 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 殷泽安;殷志鹏 | 申请（专利权）人 | 苏州译品芯半导体有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215143 江苏省苏州市相城区黄埭镇春旺路12号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种芯片表面检测装置，包括支撑脚，所述支撑脚的上端固定连接有工作台，所述工作台上端面上固定安装有放置台，工作台上方通过连接杆固定安装有底板，所述底板上设置安装有移动座，所述移动座由驱动机构驱动，移动座的下端面上固定安装有相机和一组光源，所述光源环形阵列分布在相机的四周，工作台上转动安装有防护罩，所述防护罩上设置安装有自动开合机构。本实用新型是一种结构简单，自动化程度高，可减轻认为误差提高检测准确率的芯片表面检测装置。 |
