一种用于光线曝光中心的定位装置
基本信息
| 申请号 | CN202020107955.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211180530U | 公开（公告）日 | 2020-08-04 |
| 申请公布号 | CN211180530U | 申请公布日 | 2020-08-04 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 陈斌 | 申请（专利权）人 | 北京捷安特技术服务有限公司 |
| 代理机构 | 北京智行阳光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 北京捷安特技术服务有限公司 |
| 地址 | 101400北京市怀柔区九渡河镇黄坎村731号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于光线曝光技术领域，尤其为一种用于光线曝光中心的定位装置，包括曝光头，所述曝光头下方设有导光连接座，所述导光连接座上设有光罩，所述导光连接座下方设有调节支座，所述导光连接座外侧壁固定连接有辅助侧框，所述辅助侧框内侧滑动连接有两个支撑侧杆，两个所述支撑侧杆呈对称分布，两个所述支撑侧杆底部均固定连接有定位板；当调节支座上的工件与光罩倾斜时，调节支座调节角度，可以使两个支撑侧杆在调节槽内滑动，连接杆的作用能够使两个支撑侧杆一起移动，使定位板的端面贴合在调节支座的端面上，从而可以校正调节支座的角度，使调节支座上的工件与光罩平行，能够提高调整角度的精准度和曝光作业的效果。 |
