双面连续镀膜的真空蒸镀装置
基本信息
| 申请号 | CN201811519656.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109355634A | 公开（公告）日 | 2019-02-19 |
| 申请公布号 | CN109355634A | 申请公布日 | 2019-02-19 |
| 分类号 | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/52 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 严佐毅;刘文卿 | 申请（专利权）人 | 深圳金美新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京挺立专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 叶树明 |
| 地址 | 232200 安徽省淮南市寿县新桥国际产业园新桥大道东侧幸福大道北侧创凯科技园内3号研发楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种双面连续镀膜的真空蒸镀装置，其包括真空腔体、设置在真空腔体内的转向辊机构和两组蒸镀机构，所述两组蒸镀机构上下设置，所述转向辊机构设置两组蒸镀机构的一侧，待蒸镀的柔性基材沿一组所述蒸镀机构进入经所述转向辊机构后沿另一组所述蒸镀机构用于连续对柔性基材的上下两面进行真空蒸镀，这样，本发明通过设置两组蒸镀机构，以及两组蒸镀机构之间设置转向辊机构，能够实现单次工作同时完成在柔性基材的两面蒸镀镀层，本发明获得的柔性基材膜面外观良好，无褶皱和镀空线，并且提高生产效率。 |
