改进蒸发舟
基本信息
申请号 | CN201721920906.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN208104520U | 公开(公告)日 | 2018-11-16 |
申请公布号 | CN208104520U | 申请公布日 | 2018-11-16 |
分类号 | C23C14/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 严佐毅;刘文卿;张龙;张丽 | 申请(专利权)人 | 深圳金美新材料科技有限公司 |
代理机构 | 北京挺立专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 李鑫 |
地址 | 安徽省淮南市寿县新桥国际产业园新桥大道东侧幸福大道北侧创凯科技园内3号研发楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本专利提出了一种改进蒸发舟,所述蒸发舟包括容置槽,所述蒸发舟为钼舟或钨舟中的一种,所述蒸发舟上涂覆有一多层结构的复合涂层,所述的复合涂层由若干不同的材料按一定顺序组合而成,本专利所述的改进蒸发舟可以防止金属溶液滴落对冲击钼舟或钨舟底部,造成的变形或形成凹坑,同时可以防止金属溶液腐蚀舟体,延长蒸发舟的寿命。 |
