一种靶材冷却装置
基本信息
| 申请号 | CN201721851177.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208104529U | 公开（公告）日 | 2018-11-16 |
| 申请公布号 | CN208104529U | 申请公布日 | 2018-11-16 |
| 分类号 | C23C14/34 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘文卿;严佐毅;张龙;张丽 | 申请（专利权）人 | 深圳金美新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京挺立专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 李鑫 |
| 地址 | 安徽省淮南市寿县新桥国际产业园新桥大道东侧幸福大道北侧创凯科技园内3号研发楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于溅射靶材领域，具体来说涉及一种靶材冷却装置，包括靶材、靶材余料，所述靶材与所述靶材余料为一整体，所述靶材余料上设置有若干冷媒通道；本实用新型简易方便，能够在不增加成本的基础上直接对靶材进行冷却，大大降低靶材温度，提高传热效率，并且能够更加均匀的冷却靶材，提高沉积薄膜的性能。 |
