一种具有导向加热功能的蒸发舟
基本信息
申请号 | CN201721851188.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN208104524U | 公开(公告)日 | 2018-11-16 |
申请公布号 | CN208104524U | 申请公布日 | 2018-11-16 |
分类号 | C23C14/26 | 分类 | 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
发明人 | 严佐毅;刘文卿;张龙;张丽 | 申请(专利权)人 | 深圳金美新材料科技有限公司 |
代理机构 | 北京挺立专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 李鑫 |
地址 | 安徽省淮南市寿县新桥国际产业园新桥大道东侧幸福大道北侧创凯科技园内3号研发楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种具有导向加热功能的蒸发舟,包括由导电材料制成的舟体和两个分别位于镀膜材料舟体两端的电极,镀膜材料舟体具有用于放置镀膜材料的容置部,其特征在于,镀膜材料蒸发舟还包括导向加热装置,镀膜材料导向加热装置的底部与镀膜材料舟体相连并环绕包围镀膜材料容置部,镀膜材料导向加热装置由导电材料制成,在该实用新型中,镀膜材料在蒸发为蒸汽后,不会向四面扩散,只会沿着导向加热装置的内部空间移动,保证了金属蒸汽的利用效率,同时由于导向加热装置本身的高温,可大大提高蒸发速率,也有效防止蒸发材料凝结堆积在蒸发舟周边或者电极连接处等低温区域,大大地减少了镀膜材料的损失和浪费。 |
