脉冲激光沉积三维加热台
基本信息
| 申请号 | CN201921802768.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211142143U | 公开（公告）日 | 2020-07-31 |
| 申请公布号 | CN211142143U | 申请公布日 | 2020-07-31 |
| 分类号 | C23C14/28(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 张晓军;朱新华;胡凯;代瑞娜 | 申请（专利权）人 | 深圳市矩阵多元科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市华优知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 余薇 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区西丽街道朗山路28号通产新兴产业园3号厂房1楼北侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及脉冲激光沉积技术领域，公开了一种脉冲激光沉积三维加热台。所述脉冲激光沉积三维加热台，包括加热平台、波纹管、维修旋钮、水平位移机构、垂直位移机构、旋转机构、样品托和控制电机。本技术方案通过水平位移机构、垂直位移机构和旋转机构带动加热平台进行水平位移、垂直位移和旋转，以实现加热台的三维立体加热功能，同时通过控制样品托上下移动以装入、取出以及固定样品进行加热，提升了加热台的使用便捷性和工作效率。通过波纹管和维修旋钮的组合结构，可方便快捷地将加热平台拉出腔体以进行维修或更换。 |
