一种激光入射窗口保护装置
基本信息
| 申请号 | CN201921961180.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211142144U | 公开（公告）日 | 2020-07-31 |
| 申请公布号 | CN211142144U | 申请公布日 | 2020-07-31 |
| 分类号 | C23C14/28(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 张晓军;李炳坤;胡凯;代瑞娜 | 申请（专利权）人 | 深圳市矩阵多元科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市华优知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 余薇 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区西丽街道朗山路28号通产新兴产业园3号厂房1楼北侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型适用于激光脉冲沉积技术领域，提供了一种激光入射窗口保护装置，用于保护激光入射窗口，包括：第一法兰、固定设置在所述第一法兰上的第二法兰、以及固定设置在所述第二法兰上的第三法兰；所述第二法兰中间位置上设有一旋转机构，所述旋转机构输出端连接一石英组件，所述旋转机构输出端与所述石英组件设置在所述第二法兰内部，所述第三法兰固定设置在所述腔体上；所述石英组件包括：与所述旋转机构传动连接的圆盘构件以及设置在所述圆盘构件上的多个石英玻璃片，所述圆盘构件中间位置与所述旋转机构输出端固定连接，圆盘构件上设有多个通孔，多个石英玻璃片设置在所述多个通孔内。本实用新型能提高激光透射效率和稳定性，减少污染。 |
