一种手套箱内清理MO源粉尘的装置

基本信息

申请号 CN202021691989.2 申请日 -
公开(公告)号 CN215654390U 公开(公告)日 2022-01-28
申请公布号 CN215654390U 申请公布日 2022-01-28
分类号 B01D47/02(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 黄海川;魏巍;邹贵 申请(专利权)人 安徽亚格盛电子新材料有限公司
代理机构 南京正联知识产权代理有限公司 代理人 胡定华
地址 241000安徽省芜湖市经济技术开发区赤铸山路26号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种手套箱内清理MO源粉尘的装置,包括手套箱,所述手套箱的左侧设置有两个吸附罐体和真空泵,吸附罐体上均设置有管道I和管道II且从右到左的管道I和管道II上依次设置有调节阀I、调节阀II、调节阀III和调节阀IV,调节阀I和调节阀IV上均设置有管道,调节阀II和调节阀III通过管道相连接,手套箱内设置有横向的波纹软管,波纹软管与手套箱外的管道III相连接,管道III与管道通过设置的调节阀V相连接,真空泵上连接有顶端设置调节阀VI的管道,调节阀IV和调节阀VI通过管道相连接;本实用新型不仅大大提高了手套箱的洁净程度也保证了产品生产的质量。