三甲基镓在线分析装置及其分析方法
基本信息
| 申请号 | CN202111195282.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113945669A | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN113945669A | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | G01N30/06（2006.01）I;G01N30/20（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李强强;俞冬雷;郑锐 | 申请（专利权）人 | 安徽亚格盛电子新材料有限公司 |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨静 |
| 地址 | 241000安徽省芜湖市经济技术开发区赤铸山路26号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种三甲基镓在线分析装置及其分析方法，可进行连续多次取样，样品回收也方便高效，在分析需求之前即可对管道进行前处理，结果可在1小时内完成，无需拆卸取样瓶，尾气接收也方便，分析结果还进行后置换，避免对后续分析干扰。本发明有多条线路和多个阀，组合多个工艺路线，并联多根分析管路，短时间可进行多工艺路线的样品在线分析，这样可实现前置换、空白测试、取样、分析、尾气接收、样品回收、后置换共七个功能步骤。 |
