连续多通道检测MO源浓度的装置
基本信息
| 申请号 | CN202111057147.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113834907A | 公开（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申请公布号 | CN113834907A | 申请公布日 | 2021-12-24 |
| 分类号 | G01N33/00（2006.01）I;G01G19/52（2006.01）I;G01N35/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 郑锐;彭真;王宏波;俞冬雷 | 申请（专利权）人 | 安徽亚格盛电子新材料有限公司 |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨静 |
| 地址 | 241000安徽省芜湖市经济技术开发区赤铸山路26号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明的目的是提供一种连续多通道检测MO源浓度的装置，包括有至少四个源瓶，所有的源瓶共同通过进管路一连接有氮气缓冲罐；所有的源瓶通过测试阀共同连接有测试管路，测试管路末端连接有浓度测试仪，浓度测试仪连接有末端管路；所有的源瓶通过排出阀共同连接有旁通管路，旁通管路连接着缓冲罐；末端管路上连接有第一吸收罐和第二吸收罐，缓冲罐也连接在末端管路上；所有的源瓶与氮气缓冲罐之间还通过进管路二进行连接，进管路二连接有并联的流量计一和压力控制器。通过增加旁通管路与测试管路分开以达到连续测试的目的。 |
