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一种薄膜晶体管的对位检测方法

基本信息

申请号 CN201010239799.1 申请日 -
公开（公告）号 CN102347255B 公开（公告）日 2013-07-03
申请公布号 CN102347255B 申请公布日 2013-07-03
分类号 H01L21/66 分类 基本电气元件;
发明人 邱启明 申请（专利权）人 深圳华映显示科技有限公司
代理机构 深圳中一专利商标事务所 代理人 张全文
地址 350000福建省福州市马尾区儒江西路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种薄膜晶体管的对位检测方法，包括提供一定义有一元件区与一测试区的基板、在该基板上形成一第一导电层、对该第一导电层进行一第一图案化工艺形成一薄膜晶体管的一栅极电极以及一测试元件的一第一端与一第二端、在该基板上形成一第一绝缘层、在该第一绝缘层内形成一对应该第一端与该第二端的第一接触洞、在该元件区内形成一像素电极与该测试元件的一连接电极、对该测试元件进行一通路/断路测试。当该测试元件具有一通路时，判定该薄膜晶体管的膜层的对位准确；当该测试元件具有一断路时，判定该薄膜晶体管的膜层的对位不准确。