一种用于管式PECVD设备的特气管路
基本信息
| 申请号 | CN202022643742.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214361679U | 公开（公告）日 | 2021-10-08 |
| 申请公布号 | CN214361679U | 申请公布日 | 2021-10-08 |
| 分类号 | C23C16/455（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘明华 | 申请（专利权）人 | 江苏润阳光伏科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 224000江苏省盐城市建湖县经济开发区北京路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种用于管式PECVD设备的特气管路，包括直线主管和Y型支管，Y型支管无缝固定于直线主管的一端，直线主管上设置有两个流量控制器，其中一个位于直线主管的管口处，另一个靠近Y型支管，所述Y型支管包括呈Y型分布的两个气管，两个气管上朝交叉方向内的侧壁上开有成排的特气孔。该特气管路是对设备现有特气管路进行的改进，可直接设置应用在大管径双舟的PECVD设备中，用于解决镀膜炉管内中间部位的特气供应不均的问题，进而有效改善石墨舟内硅片镀膜的膜厚均匀性和颜色，而且通过双流量控制器的设置精准的控制降低氨气和硅烷耗量，解决石墨舟片间膜厚极差大的问题。 |
