基于铌酸锂薄膜的同相正交调制器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201811204697.9 申请日 -
公开(公告)号 CN109143621A 公开(公告)日 2020-10-23
申请公布号 CN109143621A 申请公布日 2020-10-23
分类号 G02F1/03;G02F1/035 分类 光学;
发明人 蔡鑫伦;简健 申请(专利权)人 江苏铌奥光电科技有限公司
代理机构 广州粤高专利商标代理有限公司 代理人 林丽明
地址 510275 广东省广州市海珠区新港西路135号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种基于铌酸锂的同相正交调制器,包括衬底、铌酸锂薄膜、铌酸锂光波导、1×2光学分束器、马赫曾德尔调制器、90°偏置结构;所述铌酸锂薄膜键合于衬底上,所述铌酸锂光波导、1×2光学分束器、马赫曾德尔调制器、90°偏置结构均设置在铌酸锂薄膜上;所述光束通过1×2光学分束器分出两支光束,两支光束分别通过不同的马赫曾德尔调制器,马赫曾德尔调制器输出端输出两支光束,其中一支光束进入90°偏置结构后输出,另一支光束用于检测输出。本发明具有低功耗、小型化、低驱动电压、高带宽的高阶相位和强度调制器件。本发明适用于光学信号调制领域。