一种MEMS结构及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202110663840.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113301484A | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN113301484A | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | H04R19/00（2006.01）I;H04R19/04（2006.01）I;H04R31/00（2006.01）I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 夏永禄;刘端 | 申请（专利权）人 | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 230092安徽省合肥市高新区习友路3333号中国（合肥）国际智能语音产业园研发中心楼611-91室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，具有空腔；压电复合振动层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔，其中，在空腔上方的压电复合振动层具有间隙，所述间隙从所述压电复合振动层的上表面延伸穿透至所述压电复合振动层的下表面，并且所述间隙与所述空腔连通，所述间隙将所述压电复合振动层分割为外围的悬臂梁膜和中心的振膜。本申请提高了MEMS结构的灵敏度、可靠性。另外，本申请还提供了该MEMS结构的制造方法。 |
