一种压电式MEMS加速度传感器
基本信息
| 申请号 | CN202120476987.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214409044U | 公开（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申请公布号 | CN214409044U | 申请公布日 | 2021-10-15 |
| 分类号 | G01P15/09（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李冠华;刘端 | 申请（专利权）人 | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 230092安徽省合肥市高新区习友路3333号中国（合肥）国际智能语音产业园研发中心楼611-91室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种压电式MEMS加速度传感器，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在衬底上方并且覆盖空腔；第一电极层，形成在振动支撑层上方；第一压电层，形成在第一电极层上方；第二电极层，形成在第一压电层上方；开口，位于空腔上方，并且从第二电极层的上表面连续延伸至第一电极层的下表面；质量块，位于开口区域内，并且质量块与振动支撑层直接接触。该MEMS加速度传感器的谐振频率易于调节谐振频率。 |
