一种MEMS结构

基本信息

申请号 CN202022763908.1 申请日 -
公开(公告)号 CN214205840U 公开(公告)日 2021-09-14
申请公布号 CN214205840U 申请公布日 2021-09-14
分类号 H04R19/00(2006.01)I;H04R19/04(2006.01)I 分类 电通信技术;
发明人 李冠华;刘端 申请(专利权)人 安徽奥飞声学科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 230092安徽省合肥市高新区习友路3333号中国(合肥)国际智能语音产业园研发中心楼611-91室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种MEMS结构,包括:衬底,具有空腔;振动支撑层,形成在所述衬底上方,并且具有内部区域和外围区域;压电单元层,形成在所述振动支撑层的所述内部区域上方,所述压电单元层悬置于所述空腔上方,并且所述压电单元层位于所述空腔的投影区域内;其中,所述振动支撑层的所述外围区域具有波浪形褶皱和贯穿通孔。在本申请的MEMS结构中,压电单元层悬置在空腔上方,可以释放压电单元层的边缘应力,避免正负电荷中和,从而提高灵敏度。