一种MEMS结构
基本信息
申请号 | CN202022763908.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214205840U | 公开(公告)日 | 2021-09-14 |
申请公布号 | CN214205840U | 申请公布日 | 2021-09-14 |
分类号 | H04R19/00(2006.01)I;H04R19/04(2006.01)I | 分类 | 电通信技术; |
发明人 | 李冠华;刘端 | 申请(专利权)人 | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 230092安徽省合肥市高新区习友路3333号中国(合肥)国际智能语音产业园研发中心楼611-91室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请公开了一种MEMS结构,包括:衬底,具有空腔;振动支撑层,形成在所述衬底上方,并且具有内部区域和外围区域;压电单元层,形成在所述振动支撑层的所述内部区域上方,所述压电单元层悬置于所述空腔上方,并且所述压电单元层位于所述空腔的投影区域内;其中,所述振动支撑层的所述外围区域具有波浪形褶皱和贯穿通孔。在本申请的MEMS结构中,压电单元层悬置在空腔上方,可以释放压电单元层的边缘应力,避免正负电荷中和,从而提高灵敏度。 |
