一种MEMS压电超声换能器

基本信息

申请号 CN202023292382.X 申请日 -
公开(公告)号 CN214390968U 公开(公告)日 2021-10-15
申请公布号 CN214390968U 申请公布日 2021-10-15
分类号 B06B1/06(2006.01)I 分类 一般机械振动的发生或传递;
发明人 李冠华;刘端 申请(专利权)人 安徽奥飞声学科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 230092安徽省合肥市高新区习友路3333号中国(合肥)国际智能语音产业园研发中心楼611-91室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种MEMS压电超声换能器,包括:衬底,具有空腔;第一电极层,形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔;第一压电层,形成在所述第一电极层上方;第二电极层,形成在所述第一压电层上方;结构层,形成在所述第二电极层上方;第三电极层,形成在所述结构层上方;第二压电层,形成在所述第三电极层上方,并且所述第一压电层的压电系数d31比所述第二压电层的压电系数d31大;第四电极层,形成在所述第二压电层上方。本申请所提供的压电超声换能器兼具了良好的发射和接收声波信号的功能。