一种MEMS结构及其形成方法
基本信息
| 申请号 | CN201911099149.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110798788B | 公开（公告）日 | 2021-05-11 |
| 申请公布号 | CN110798788B | 申请公布日 | 2021-05-11 |
| 分类号 | H04R19/04 | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 刘端 | 申请（专利权）人 | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 230092 安徽省合肥市高新区习友路3333号中国（合肥）国际智能语音产业园研发中心楼611-91室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种MEMS结构的形成方法，包括：在衬底的正面形成第一牺牲层和突出于所述衬底外的支柱，并且所述第一牺牲层的顶面与所述支柱的顶面平齐；在所述支柱和所述第一牺牲层上方形成压电复合振动层；去除所述第一牺牲层形成空腔。该MEMS结构采用支柱支撑压电复合振动层，从而有利于提高MEMS结构的灵敏度。 |
