一种MEMS结构
基本信息
| 申请号 | CN202110611828.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113194394A | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN113194394A | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | H04R19/04（2006.01）I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 韩娇;刘端 | 申请（专利权）人 | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 230092安徽省合肥市高新区习友路3333号中国（合肥）国际智能语音产业园研发中心楼611-91室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，具有空腔；压电复合振动层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔，其中，所述压电复合振动层具有位于衬底上方的第一区域和位于所述空腔上方的第二区域，在所述第一区域内凹槽从所述压电复合振动层的上表面延伸至所述压电复合振动层的下表面。本申请通过设置凹槽环绕第二区域，从而提高了MEMS结构的灵敏度。 |
