一种减少蒸发镀层的真空电子束冷床熔炼炉系统
基本信息
| 申请号 | CN202111520689.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114485166A | 公开（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申请公布号 | CN114485166A | 申请公布日 | 2022-05-13 |
| 分类号 | F27B14/06（2006.01）I;F27B14/10（2006.01）I;F27B14/16（2006.01）I;C22B9/22（2006.01）I;C23C18/31（2006.01）I | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 吴景晖;雷孝吕;杜全国;王秦超;吴栋;宋彦明;姚力军 | 申请（专利权）人 | 宁波创润新材料有限公司 |
| 代理机构 | 上海申新律师事务所 | 代理人 | - |
| 地址 | 315460浙江省宁波市余姚市临山镇临浦村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种真空电子束冷床熔炼炉系统，包括熔炼单元、真空抽气单元和抽蒸发料单元；熔炼单元包括EB炉体，EB炉体中设置有铸造坩埚和水平坩埚；真空抽气单元包括扩散泵，EB炉体与扩散泵通过真空抽气管道连通；抽蒸发料单元包括沉粉腔和扩散泵，EB炉体与扩散泵通过蒸发料抽除管道连通，蒸发料抽除管道的入口设置在水平坩埚的上方；蒸发料抽除管道包括多段，相邻段的轴心方向不同，相邻段的连接处的底部设置有沉粉腔。本发明中通过抽蒸发料单元的设置，对杂质与原料蒸发产生的蒸发料进行收集，大大减少EB炉体与蒸发料的接触，大大减缓蒸发镀层的形成速率。 |
